半導体製造装置向けのマイクロ波自動整合器（オートチューナー）の研究開発を行いました。
まず、整合アルゴリズムを構築するための基礎実験やデータ収集を行い、その後ファームウェアの開発を進めました。
また、整合状態を視覚的に確認できるテストツールの作成も行いました。
ファームウェアだけでなく、メカ部分やハード部分の担当者とも連携し、装置を完成させることができました。